采用原子荧光光谱法进行测定时具有如下优点：
1 使用原子荧光光谱仪进行检测，有较低的检出限，灵敏度高。特别是对Cd、Zn等元素有相当低的检出限，Cd可达0.001ng/cm³、Zn为0.04ng/cm³。现已有20多种元素低于原子吸收光谱法的检出限。由于原子荧光的辐射强度与激发光源成比例，采用新的高强度光源可进一步降低其检出限。
2 干扰较少，谱线比较简单，采用一些装置，可以制成非色散原子荧光光谱仪。这种仪器结构简单，价格相对便宜。
3 谱线简单，分析校正曲线线性范围宽，可达3~5个数量级，特别是用激光做激发光源时更佳。
4 由于原子荧光是向空间各个方向发射的，比较容易制作多道仪器，因而能实现多元素同时测定。
这些优点使得原子荧光光度计在冶金、地质、石油、农行、地球化学、材料科学、环境科学、高纯物质、水质监控、生物制品和医学分析等各个领域内获得了相当广泛的应用。